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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:多弧離子鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN-MIOP500S-2TA
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
多弧離子鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時(shí)將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。本多弧離子鍍膜儀配有兩個(gè)多弧靶,和行星式樣品臺(tái)可有效的提高鍍膜效率。
詳情介紹:

多弧離子鍍膜儀 TN-MIOP500S-2TA本設(shè)備為多弧離子鍍膜設(shè)備。多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時(shí),將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來,不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量,而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強(qiáng),繞射性好,膜材廣泛等優(yōu)點(diǎn)。十分適合鍍硬質(zhì)保護(hù)膜如TiN等。同時(shí)由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結(jié)合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜

本設(shè)備配有兩個(gè)多弧靶,分置于腔體兩側(cè)。配合行星式樣品臺(tái)可有效的提高鍍膜效率,改善成效果;該鍍膜儀還采用一體化設(shè)計(jì),腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的**。

名稱
多弧離子鍍膜儀
型號(hào)
TN-MIOP500S-2TA
點(diǎn)
  • 離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來,不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量,而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。
  • 十分適合鍍硬質(zhì)保護(hù)膜如TiN等。同時(shí)由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結(jié)合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
  • 一體化設(shè)計(jì),腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離
術(shù)參數(shù)
  • 樣品臺(tái) 行星式樣品臺(tái),外徑305mm,四周六工位,工件可懸掛于各工位的支撐棒上,外周轉(zhuǎn)速1~20rpm可調(diào)
  • 多弧離子靶:φ84mm X 2 
  • 真空腔體: 304不銹鋼 ,φ300mm X 400mm, 觀察窗口前置φ100mm含遮光片,開門式
  • 膜厚控制 晶振式膜厚測(cè)量?jī)x,可選多通道膜厚控制儀
  • 真空系統(tǒng)
  1.    前級(jí)泵 雙極旋片泵 抽氣接口 KF16; 次級(jí)泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF160
  2.    真空測(cè)量電阻+電離復(fù)合真空規(guī)
  3.    排氣速率: 機(jī)械泵1.1L/s, 分子泵 600L/s, 旋片泵:1.1L/S 
  4.    極限真空: 1.0E-5Pa
  5.    供電電源: AC 220V 50/60Hz
  • 控制系統(tǒng) 自動(dòng)控制:觸控屏+操作面板
規(guī)格
電壓 AC380V,50Hz ;尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm;功率 5kW 整機(jī)重量 350kg


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